使用有機化學氣相沉積系統以介面差排陣列磊晶成長三五族銻化物材料對互補式金屬氧化物半導體之應用
博士論文名稱 |
使用有機化學氣相沉積系統以介面差排陣列磊晶成長三五族銻化物材料對互補式金屬氧化物半導體之應用 |
學校/科系 |
國立交通大學/材料科學與工程學系所 |
研究生姓名 |
黃沙皇/105學年度 |
指導教授 |
張翼 |
中文關鍵詞 |
MOCVD、IMF、InGaSb |