2018.08《第六十二期》
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低電阻率自我對準金屬矽化物在矽晶與三五化合物半導體上之成長

 

博士論文名稱

低電阻率自我對準金屬矽化物在矽晶與三五化合物半導體上之成長

學校/科系

國立清華大學/材料科學工程學系

研究生姓名

沈庚輝/105學年度

指導教授

陳力俊

中文關鍵詞

蕭特基能障、自我對準、金屬矽化物、稀土、砷化鎵、金屬氧化物半導體場效電晶體

 



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