氮化鋁鎵/氮化鎵射頻功率金氧半高電子遷移率電晶體之元件製作與特性探討

 

博士論文名稱

氮化鋁鎵/氮化鎵射頻功率金氧半高電子遷移率電晶體之元件製作與特性探討

學校/科系

國立交通大學/材料科學與工程學系所

研究生姓名

邱昱盛/105學年度

指導教授

張翼

中文關鍵詞

氮化鎵、射頻功率、氧化鍶、氮化鋁、高介電常數、高電子遷移率電晶體

 



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