氮化鋁鎵/氮化鎵射頻功率金氧半高電子遷移率電晶體之元件製作與特性探討
博士論文名稱 |
氮化鋁鎵/氮化鎵射頻功率金氧半高電子遷移率電晶體之元件製作與特性探討 |
學校/科系 |
國立交通大學/材料科學與工程學系所 |
研究生姓名 |
邱昱盛/105學年度 |
指導教授 |
張翼 |
中文關鍵詞 |
氮化鎵、射頻功率、氧化鍶、氮化鋁、高介電常數、高電子遷移率電晶體 |