溫度與摻雜濃度環繞式閘極多晶矽奈米線無接面電晶體之特性影響研究

 

博士論文名稱

溫度與摻雜濃度環繞式閘極多晶矽奈米線無接面電晶體之特性影響研究

學校/科系

國立交通大學/材料科學與工程學系奈米科技碩博士班

研究生姓名

左佳聰/105學年度

指導教授

許鉦宗、潘扶民

中文關鍵詞

溫度關聯性、摻雜濃度關聯性、奈米線、環繞式閘極、電晶體、多晶矽、多通道、無介面、反轉模式

 



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