2016.06《第四十九期》
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高功率電子應用之氮化鎵半導體於矽基板的元件製作與特性研究

 

博士論文名稱

高功率電子應用之氮化鎵半導體於矽基板的元件製作與特性研究

學校/科系

國立交通大學/材料科學與工程學系所

研究生姓名

謝廷恩/104學年度

指導教授

張翼

中文關鍵詞

氮化鎵、高電子遷移率電晶體、閘極氧化層、電漿輔助原子沉積系統、閘極掘入、無金製程

 



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