以原子層沉積技術製備氧化鋅薄膜電晶體之穩定性、電性以及可撓曲性研究

 

博士論文名稱

以原子層沉積技術製備氧化鋅薄膜電晶體之穩定性、電性以及可撓曲性研究

學校/科系

國立臺灣大學/材料科學與工程學研究所

研究生姓名

林沅昱/103學年度

指導教授

蔡豐羽

中文關鍵詞

薄膜電晶體、氧化鋅、穩定性、原子層薄膜沉積、封裝

 



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