高介電質與三五族之介面活性層在互補式金屬氧化層半導體之應用

 

博士論文名稱

高介電質與三五族之介面活性層在互補式金屬氧化層半導體之應用

學校/科系

國立交通大學/材料科學與工程學系所

研究生姓名

陸廣湖/104學年度

指導教授

張翼

中文關鍵詞

MOSCAP、MOSFET、AlN、Al2O3、HfO2

 



中國材料科學學會 © 2016 Meterials Research Society Taiwan