2016.08《第五十期》
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製程方法與條件對ZnO基底薄膜光電特性之影響

 

博士論文名稱

製程方法與條件對ZnO基底薄膜光電特性之影響

學校/科系

國立成功大學/材料科學及工程學系

研究生姓名

梁志豪/102學年度

指導教授

黃文星

中文關鍵詞

ZnO:Al薄膜、ZnO:Ga薄膜、陰極電弧沉積、射頻磁控濺鍍、疊差、光電特性

 



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