2016.08《第五十期》
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軟性光罩微影技術應用於圖形化藍寶石基板之量產製程

 

博士論文名稱

軟性光罩微影技術應用於圖形化藍寶石基板之量產製程

學校/科系

國立成功大學/材料科學及工程學系

研究生姓名

謝易達/102學年度

指導教授

李永春

中文關鍵詞

金屬植入式黃光微影技術、PDMS軟性光罩微影技術、圖形化藍寶石基板、發光二極體、黑光阻

 



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