高功率脈衝磁控濺鍍金屬及氧化物薄膜於軟性聚酯基材
博士論文名稱 |
高功率脈衝磁控濺鍍金屬及氧化物薄膜於軟性聚酯基材 |
學校/科系 |
逢甲大學/材料科學與工程學系 |
研究生姓名 |
陳瑛鴻/104學年度 |
指導教授 |
何主亮、陳克昌 |
中文關鍵詞 |
高功率脈衝磁控濺鍍、金屬模式、氧化模式、電漿診斷、軟性基材 |