超高頻氫電漿之特性與模擬

 

博士論文名稱

超高頻氫電漿之特性與模擬

學校/科系

逢甲大學/材料科學與工程學系

研究生姓名

陳冠蓁/104學年度

指導教授

河合良信

中文關鍵詞

超高頻電漿、電容耦合式電漿、氫電漿、電子困留效應、蘭摩爾探、鞘區電位、統計加熱、狹窄間隙放電、電漿混合模組

 



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