超高頻氫電漿之特性與模擬
博士論文名稱 |
超高頻氫電漿之特性與模擬 |
學校/科系 |
逢甲大學/材料科學與工程學系 |
研究生姓名 |
陳冠蓁/104學年度 |
指導教授 |
河合良信 |
中文關鍵詞 |
超高頻電漿、電容耦合式電漿、氫電漿、電子困留效應、蘭摩爾探、鞘區電位、統計加熱、狹窄間隙放電、電漿混合模組 |