2025.07《第一百零四期》
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    原子層沉積成長氧化物薄膜應用於氧化鋅奈米柱陣列電容器

     

    博士論文名稱

    原子層沉積成長氧化物薄膜應用於氧化鋅奈米柱陣列電容器

    學校/科系

    國立中央大學/化學工程與材料工程學系

    研究生姓名

    林伯誠/105學年度

    指導教授

    吳子嘉

    中文關鍵詞

    原子層沉積法、氧化鋅、電容器

     



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