2025.07《第一百零四期》
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    超高頻均勻性高密度電漿源開發

     

    博士論文名稱

    超高頻均勻性高密度電漿源開發

    學校/科系

    逢甲大學/材料科學與工程學系

    研究生姓名

    連承暘/104學年度

    指導教授

    陳家富、邱國峰

    中文關鍵詞

    超高頻電漿、離子飽和電流、鞘區電位、蘭牟爾探針、平衡供電法

     



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