新穎性氮化鋁與氮化銦鋁三族氮化物半導體磊晶成長之研究
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博士論文名稱 |
新穎性氮化鋁與氮化銦鋁三族氮化物半導體磊晶成長之研究 |
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學校/科系 |
國立交通大學/材料科學與工程學系所 |
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研究生姓名 |
林珮吟/103學年度 |
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指導教授 |
張立 |
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中文關鍵詞 |
氮化鋁與氮化銦鋁之三族氮化物、有機金屬化學氣相沉積、磊晶薄膜成長、穿透式電子顯微鏡及球面像差修正掃描穿透式電子顯微鏡分析 |
  第104-94期