具高度(111)優選方向之奈米雙晶銅膜之製備,熱穩定性及其在3D IC封裝的應用
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博士論文名稱 |
具高度(111)優選方向之奈米雙晶銅膜之製備,熱穩定性及其在3D IC封裝的應用 |
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學校/科系 |
國立交通大學/材料科學與工程學系所 |
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研究生姓名 |
黃以撒/102學年度 |
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指導教授 |
陳智 |
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中文關鍵詞 |
奈米雙晶銅、三維積體電路、冶金反應、熱遷移、微凸塊 |
  第104-94期