2025.07《第一百零四期》
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    以奈米複合晶技術開發具優異高溫穩定性之多元氮化鉻鋁矽薄膜

     

    博士論文名稱

    以奈米複合晶技術開發具優異高溫穩定性之多元氮化鉻鋁矽薄膜

    學校/科系

    國立清華大學/材料科學工程學系

    研究生姓名

    陳憲緯/103學年度

    指導教授

    杜正恭

    中文關鍵詞

    奈米複合晶、鉻鋁矽氮薄膜、微結構、熱性質、氧化行為、結構穩定性

     



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