2025.07《第一百零四期》
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    利用電漿輔助化學氣相沉積系統製備低介電碳氮化矽薄膜之研究

     

    博士論文名稱

    利用電漿輔助化學氣相沉積系統製備低介電碳氮化矽薄膜之研究

    學校/科系

    國立交通大學/材料科學與工程學系所

    研究生姓名

    凃弘恩/103學年度

    指導教授

    呂志鵬

    中文關鍵詞

    低介電、碳氮化矽薄膜、起孔洞劑、孔洞形貌、低掠角小角度X光散射

     



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