2025.07《第一百零四期》
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    微結晶矽材料於電子及光電元件之應用

     

    博士論文名稱

    微結晶矽材料於電子及光電元件之應用

    學校/科系

    國立交通大學/材料科學與工程學系所

    研究生姓名

    邱宥浦/102學年度

    指導教授

    潘扶民、謝嘉民

    中文關鍵詞

    微結晶矽、漸變式p型窗口層、熱燈絲化學氣相沉積系統、薄膜電晶體、雙金屬閘結構、感應耦合式化學氣相沉積系統

     



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