製程方法與條件對ZnO基底薄膜光電特性之影響
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博士論文名稱 |
製程方法與條件對ZnO基底薄膜光電特性之影響 |
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學校/科系 |
國立成功大學/材料科學及工程學系 |
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研究生姓名 |
梁志豪/102學年度 |
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指導教授 |
黃文星 |
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中文關鍵詞 |
ZnO:Al薄膜、ZnO:Ga薄膜、陰極電弧沉積、射頻磁控濺鍍、疊差、光電特性 |
  第104-94期