軟性光罩微影技術應用於圖形化藍寶石基板之量產製程
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博士論文名稱 |
軟性光罩微影技術應用於圖形化藍寶石基板之量產製程 |
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學校/科系 |
國立成功大學/材料科學及工程學系 |
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研究生姓名 |
謝易達/102學年度 |
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指導教授 |
李永春 |
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中文關鍵詞 |
金屬植入式黃光微影技術、PDMS軟性光罩微影技術、圖形化藍寶石基板、發光二極體、黑光阻 |
  第104-94期