反應式濺鍍法製備氮化鎵為主之III族氮化物薄膜及其鎂摻雜之特性探討
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博士論文名稱 |
反應式濺鍍法製備氮化鎵為主之III族氮化物薄膜及其鎂摻雜之特性探討 |
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學校/科系 |
國立臺灣科技大學/材料科學與工程系 |
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研究生姓名 |
李成哲/102學年度 |
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指導教授 |
郭東昊 |
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中文關鍵詞 |
氮化鎵、濺鍍、氮化銦鎵、鎂摻雜氮化鎵、薄膜、電特性 |
  第104-94期