2018.02《第五十九期》
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原子層沉積成長氧化物薄膜應用於氧化鋅奈米柱陣列電容器

 

博士論文名稱

原子層沉積成長氧化物薄膜應用於氧化鋅奈米柱陣列電容器

學校/科系

國立中央大學/化學工程與材料工程學系

研究生姓名

林伯誠/105學年度

指導教授

吳子嘉

中文關鍵詞

原子層沉積法、氧化鋅、電容器

 



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