2017.12《第五十八期》
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應用於後互補式金屬氧化物半導體之低功率高介電係數/三五族金屬氧化物半導體元件閘極金屬堆疊之研究

 

博士論文名稱

應用於後互補式金屬氧化物半導體之低功率高介電係數/三五族金屬氧化物半導體元件閘極金屬堆疊之研究

學校/科系

國立交通大學/材料科學與工程學系所

研究生姓名

杜輝平/105學年度

指導教授

張翼

中文關鍵詞

CMOS、Metal gate stack、III-V、HfO2、Low power consumption appications、Metal work function

 



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