2017.12《第五十八期》
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以有機金屬化學氣相沉積法製備低缺陷密度之氮化鋁模板與其在深紫外光發光二極體之應用

 

博士論文名稱

以有機金屬化學氣相沉積法製備低缺陷密度之氮化鋁模板與其在深紫外光發光二極體之應用

學校/科系

國立中興大學/材料科學與工程學系所

研究生姓名

王梓育/105學年度

指導教授

武東星

中文關鍵詞

低缺陷氮化鋁、奈米圖案化藍寶石基板、五三族比、超晶格、差排行為、蝕刻缺陷密度、內部量子效率

 



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