銅化學機械研磨在奈米半導體積體電路製程之研究
博士論文名稱 |
銅化學機械研磨在奈米半導體積體電路製程之研究 |
學校/科系 |
國立成功大學/材料科學及工程學系 |
研究生姓名 |
魏國修/105學年度 |
指導教授 |
劉全璞、王英郎 |
中文關鍵詞 |
銅化學機械研磨、半導體製程、研磨顆粒 |