銅化學機械研磨在奈米半導體積體電路製程之研究

 

博士論文名稱

銅化學機械研磨在奈米半導體積體電路製程之研究

學校/科系

國立成功大學/材料科學及工程學系

研究生姓名

魏國修/105學年度

指導教授

劉全璞、王英郎

中文關鍵詞

銅化學機械研磨、半導體製程、研磨顆粒

 



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