2017.08《第五十六期》
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超高頻均勻性高密度電漿源開發

 

博士論文名稱

超高頻均勻性高密度電漿源開發

學校/科系

逢甲大學/材料科學與工程學系

研究生姓名

連承暘/104學年度

指導教授

陳家富、邱國峰

中文關鍵詞

超高頻電漿、離子飽和電流、鞘區電位、蘭牟爾探針、平衡供電法

 



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