以金屬有機化學氣相沉積方式成長氮化鋁緩衝層應用於氮化鋁(銦)鎵/氮化鎵高電子遷率電晶體

 

博士論文名稱

以金屬有機化學氣相沉積方式成長氮化鋁緩衝層應用於氮化鋁(銦)鎵/氮化鎵高電子遷率電晶體

學校/科系

國立交通大學/材料科學與工程學系所

研究生姓名

黃偉進/104學年度

指導教授

張翼

中文關鍵詞

氮化鎵、氮化鋁、高電子遷移率電晶體

 



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