以金屬有機化學氣相沉積方式成長氮化鋁緩衝層應用於氮化鋁(銦)鎵/氮化鎵高電子遷率電晶體
博士論文名稱 |
以金屬有機化學氣相沉積方式成長氮化鋁緩衝層應用於氮化鋁(銦)鎵/氮化鎵高電子遷率電晶體 |
學校/科系 |
國立交通大學/材料科學與工程學系所 |
研究生姓名 |
黃偉進/104學年度 |
指導教授 |
張翼 |
中文關鍵詞 |
氮化鎵、氮化鋁、高電子遷移率電晶體 |