新穎的溶膠凝膠沈積法與電漿氧化生成技術應用於可撓式透明薄膜電晶體之研究
博士論文名稱 |
新穎的溶膠凝膠沈積法與電漿氧化生成技術應用於可撓式透明薄膜電晶體之研究 |
學校/科系 |
國立交通大學/材料科學與工程學系奈米科技碩博士班 |
研究生姓名 |
朱銘清/104學年度 |
指導教授 |
柯富祥 |
中文關鍵詞 |
薄膜電晶體、液晶顯示器、透明金屬氧化物半導體、軟性電子、溶膠-凝膠沈積技術、電漿氧化生成技術、氧化鋅薄膜電晶體、氧化鋯高介電閘極介電層 |