2017.06《第五十五期》
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反轉式與無接面多晶矽奈米線環繞式閘極薄膜電晶體研究

 

博士論文名稱

反轉式與無接面多晶矽奈米線環繞式閘極薄膜電晶體研究

學校/科系

國立交通大學/材料科學與工程學系奈米科技碩博士班

研究生姓名

劉東育/104學年度

指導教授

許鉦宗、潘扶民

中文關鍵詞

側壁邊襯、奈米線、平台結構、環繞式閘極、電晶體、多晶矽、多通道、無接面、反轉模式、非揮發性記憶體

 



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