2017.06《第五十五期》
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使用氧化鑭和二氧化鉿複合氧化層結構之砷化銦鎵金氧半導體電容器研究

 

博士論文名稱

使用氧化鑭和二氧化鉿複合氧化層結構之砷化銦鎵金氧半導體電容器研究

學校/科系

國立交通大學/材料科學與工程學系所

研究生姓名

吳文豪/104學年度

指導教授

張翼

中文關鍵詞

氧化鑭、二氧化鉿、金氧半電容器、高介電係數材料、電容等效厚度、等效氧化物厚度、磁滯特性、X射線光電子光譜、電容-電壓曲線、散頻、界面缺陷密度、閘極漏電流

 



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