金屬有機氣相沉積成長技術在氮化鎵基高電子遷移電晶體之應用

 

博士論文名稱

金屬有機氣相沉積成長技術在氮化鎵基高電子遷移電晶體之應用

學校/科系

國立交通大學/材料科學與工程學系所

研究生姓名

呂憲中/103學年度

指導教授

張立

中文關鍵詞

金屬有機氣相沉積(MOCVD)、GaN、高電子遷移率電晶體(HEMTs)、磊晶成長、AlGaN

 



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