2016.12《第五十二期》
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電漿自由基分析技術應用於矽異質接面太陽能電池特性研究

 

博士論文名稱

電漿自由基分析技術應用於矽異質接面太陽能電池特性研究

學校/科系

國立中興大學/材料科學與工程學系所

研究生姓名

卓昀劭/104學年度

指導教授

武東星

中文關鍵詞

電漿輔助化學氣相沉積、本質非晶矽薄膜、異質接面太陽電池、電漿自由基、電漿分析設備

 



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