新穎性氮化鋁與氮化銦鋁三族氮化物半導體磊晶成長之研究

 

博士論文名稱

新穎性氮化鋁與氮化銦鋁三族氮化物半導體磊晶成長之研究

學校/科系

國立交通大學/材料科學與工程學系所

研究生姓名

林珮吟/103學年度

指導教授

張立

中文關鍵詞

氮化鋁與氮化銦鋁之三族氮化物、有機金屬化學氣相沉積、磊晶薄膜成長、穿透式電子顯微鏡及球面像差修正掃描穿透式電子顯微鏡分析

 



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