金屬(鋁、鎳)誘導非晶矽側向結晶之研究

 

博士論文名稱

金屬(鋁、鎳)誘導非晶矽側向結晶之研究

學校/科系

國立交通大學/材料科學與工程學系所

研究生姓名

黃世陽/103學年度

指導教授

劉增豐

中文關鍵詞

金屬誘發側向結晶、鎳、非晶矽、旋轉塗佈法、壓應力、多晶矽

 



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