2016.10《第五十一期》
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濕蝕刻藍寶石圖形化基板形貌演化對氮化鎵磊晶的影響

 

博士論文名稱

濕蝕刻藍寶石圖形化基板形貌演化對氮化鎵磊晶的影響

學校/科系

國立交通大學/材料科學與工程學系所

研究生姓名

陳俞中/102學年度

指導教授

吳耀銓

中文關鍵詞

發光二極體、圖形化藍寶石基板、濕蝕刻、氮化鎵

 



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