具高度(111)優選方向之奈米雙晶銅膜之製備,熱穩定性及其在3D IC封裝的應用

 

博士論文名稱

具高度(111)優選方向之奈米雙晶銅膜之製備,熱穩定性及其在3D IC封裝的應用

學校/科系

國立交通大學/材料科學與工程學系所

研究生姓名

黃以撒/102學年度

指導教授

陳智

中文關鍵詞

奈米雙晶銅、三維積體電路、冶金反應、熱遷移、微凸塊

 



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