2016.10《第五十一期》
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以奈米複合晶技術開發具優異高溫穩定性之多元氮化鉻鋁矽薄膜

 

博士論文名稱

以奈米複合晶技術開發具優異高溫穩定性之多元氮化鉻鋁矽薄膜

學校/科系

國立清華大學/材料科學工程學系

研究生姓名

陳憲緯/103學年度

指導教授

杜正恭

中文關鍵詞

奈米複合晶、鉻鋁矽氮薄膜、微結構、熱性質、氧化行為、結構穩定性

 



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