2016.10《第五十一期》
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利用電漿輔助化學氣相沉積系統製備低介電碳氮化矽薄膜之研究

 

博士論文名稱

利用電漿輔助化學氣相沉積系統製備低介電碳氮化矽薄膜之研究

學校/科系

國立交通大學/材料科學與工程學系所

研究生姓名

凃弘恩/103學年度

指導教授

呂志鵬

中文關鍵詞

低介電、碳氮化矽薄膜、起孔洞劑、孔洞形貌、低掠角小角度X光散射

 



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