利用遠程電漿輔助原子層沉積技術製作摻雜氮之結晶化高介電常數金屬閘極堆疊之研究

 

博士論文名稱

利用遠程電漿輔助原子層沉積技術製作摻雜氮之結晶化高介電常數金屬閘極堆疊之研究

學校/科系

國立臺灣大學/材料科學與工程學研究所

研究生姓名

黃芝傑/102學年度

指導教授

陳敏璋

中文關鍵詞

高介電係數介電層、二氧化鋯、原位原子層摻雜、沉積後氮化處理、緩衝層、遠程電漿輔助原子層沉積技術

 



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