2016.04《第四十八期》
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反應式濺鍍法製備氮化鎵為主之III族氮化物薄膜及其鎂摻雜之特性探討

 

博士論文名稱

反應式濺鍍法製備氮化鎵為主之III族氮化物薄膜及其鎂摻雜之特性探討

學校/科系

國立臺灣科技大學/材料科學與工程系

研究生姓名

李成哲/102學年度

指導教授

郭東昊

中文關鍵詞

氮化鎵、濺鍍、氮化銦鎵、鎂摻雜氮化鎵、薄膜、電特性

 



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