2016.02《第四十七期》
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清洗液處理後之銅晶圓表面之濕潤行為

 

博士論文名稱

清洗液處理後之銅晶圓表面之濕潤行為

學校/科系

國立中央大學/化學工程與材料工程學系

研究生姓名

涂勝宏/102學年度

指導教授

曹恒光

中文關鍵詞

接觸角、濕潤性、氧化銅、氧化亞銅、親水性、疏水性

 



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