2016.02《第四十七期》
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矽鋁薄膜的製備、光學性質分析和在薄膜電晶體鈍化層應用的研究

 

博士論文名稱

矽鋁薄膜的製備、光學性質分析和在薄膜電晶體鈍化層應用的研究

學校/科系

國立中山大學/材料與光電科學學系研究所

研究生姓名

董寰乾/102學年度

指導教授

張六文

中文關鍵詞

矽鋁靶材、非晶質銦鎵鋅氧薄膜電晶體、奈米顆粒、非導電性真空鍍膜、鈍化層

 



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