2015.12《第四十六期》
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利用遠程電漿原子層摻雜技術製作摻雜氮之氧化鋅薄膜及發光二極體之研究

 

博士論文名稱

利用遠程電漿原子層摻雜技術製作摻雜氮之氧化鋅薄膜及發光二極體之研究

學校/科系

國立臺灣大學/材料科學與工程學研究所

研究生姓名

簡瑞芬/101學年度

指導教授

陳敏璋

中文關鍵詞

原子層沉積、遠程電漿、原位原子層摻雜、氧化鋅、發光二極體、異質結構、同質結構

 



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