2015.12《第四十六期》
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氧化鎂及氧化鉿作為氧化鋅薄膜電晶體介電層之電特性與穩定性研究

 

博士論文名稱

氧化鎂及氧化鉿作為氧化鋅薄膜電晶體介電層之電特性與穩定性研究

學校/科系

國立成功大學/材料科學及工程學系碩博士班

研究生姓名

陳威宇/101學年度

指導教授

陳貞夙

中文關鍵詞

高介電常數、高載子遷移率、閘極偏壓應力、表面電漿處理

 

 



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